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靶溅射功率相关论文

“反向设计”法研制ZrB_(2)-Ni涂层及其性能研究

利用磁控溅射技术向ZrB_(2)涂层中掺杂金属Ni来改善涂层韧性,采用“反向设计”法研制ZrB_(2)-Ni涂层,即通过改变ZrB_(2)靶溅射功率......

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磁控溅射技术 “反向设计”方法 ZrB_(2)-Ni涂层靶溅射功率纳米硬度 magnetron sputtering technology reverse

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