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鞘层演化相关论文
球心处有附加电极的半圆形容器等离子体源离子注入过程中鞘层的时空演化
本文利用两维流体模型研究了半圆形容器在放置共心零电位附加电极情况下,等离子体源离子注入的离子鞘层时空演化动力学过程。考察了......
期刊
半圆形容器
等离子体源离子注入
鞘层演化
Hemispherical bowl-shaped vessel Plasma source ion implanta
等离子体鞘层及尘埃在鞘层中的特性研究
在等离子体材料表面改性、合成薄膜及刻蚀等工艺过程中,等离子体和材料表面附近形成的等离子体鞘层的物理特性直接影响被加工材料的......
学位
等离子体鞘层
电负性等离子体
尘埃粒子分布
尘埃充电
鞘层演化
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