选用高温超导体ＹＢＣＯ薄膜，利用集成微加工工艺，制成高温超导红外探测器。测得器件的等效噪声功率ＮＥＰ达到１０〈’１２〉Ｗ．Ｈｚ〈’－１／２〉，探测率Ｄ〈’＊〉为１０〈’９〉ｃｍ．Ｈｚ〈......