高精密定位平台相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

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高精密定位平台驱动波纹管迟滞的建模与验证

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期刊

高精密定位平台波纹管迟滞特性精度 High-precision positioning stage Bellows Hysteresis Accur

面向IC封装的精密定位平台的运动控制研究

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学位

高精密定位平台直线电机动力学建模 PID控制控制器

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