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全球面临能源短缺与环境保护的双重压下,这促进了太阳能光伏产业的快速发展。而太阳能级晶体硅制备的关键技术被国外所垄断,导致我......
研究了表面氧含量对高纯硅原料在氮氢气氛下直接氮化行为的影响,并合成高α相氮化硅。研究结果表明,硅粉在氮氢气氛下1 350℃保温3......
高纯硅粉氮化和普通硅粉氮化过程具有明显差别,在相同氮化时间,高纯硅粉氮化率明显低于普通硅粉;高纯硅粉氮化具有明显阶段性特征,......
