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高阶效应表征相关论文
纳米尺度MOS器件高阶效应表征研究
半导体器件的特征尺寸不断缩小,使得集成电路向高性能、低功耗、高集成度、多功能的方向不断发展。在纳米尺度器件中,除短沟道效应以......
学位
纳米尺度
MOS器件
高阶效应表征
栅堆叠工艺
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