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高频失真误差相关论文
磨削表面粗糙度白光干涉测量误差及修正方法
国防工业、航空航天、汽车制造、半导体和微电子工业等领域发展迅速,超精密加工零件的数量和质量需求都急剧增长,尤其是对零件表面......
学位
超精密磨削
白光扫描干涉测量
高频失真误差
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