高-k材料相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高-k材料相关论文

二元高—k材料研究进展及制备

随着大规模集成电路的发展,需要一种高介质材料来代替传统的SiO2,介绍了有可能替代SiO2的几种二元材料的研究现状,主要包括Si3N4、......

期刊

研究进展制备高-k材料蒸发法 CVD IBD 系统芯片集成电路 highkdielectric vapor CVD IBD

界面和能带结构对电荷俘获型器件存储性能影响的研究

SONOS(Si/SiO2/Si3N4/SiO2/poly-Si)型存储器具有写入/擦除速度快、功耗低、数据保持时间长以及与CMOS工艺兼容等优点,被广泛应用......

学位

电荷俘获型存储器高-k材料界面态能带结构微波阻抗显微术

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