高k介质薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高k介质薄膜相关论文

原子层沉积系统设计的研究

本文介绍作者自行设计的原子层沉积(ALD)实验系统和所沉积薄膜的检测结果。为了研究ALD技术,作者设计了一套试验性的ALD沉积系统。......

期刊

原子层沉积前驱体高k介质薄膜表面分析

高k介质薄膜的原子层沉积制备及纳米器件应用

随着集成电路尺寸的进一步缩小,纳米尺度的CMOS器件面临的技术挑战和物理问题已成为当前迫切而重要的研究课题,其中由于高k介质薄......

学位

高k介质薄膜表面粗糙度纳米孔 ZnO 场效应管

看过本文同时还关注