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高可靠性Cu BCE a-IGZO TFTs的制作
背沟道刻蚀型(BCE)非晶氧化铟镓锌薄膜晶体管(a-IGZOTFT)具有工艺简单、寄生电容小以及开口率高等优点,但BCEIGZO器件背沟道易受酸......
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