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6H-SiC材料相关论文
Kr和Ne离子注入6H-SiC晶体缺陷的产生及退火行为
SiC优越的高温力学性能、高温化学惰性、低感生放射性和低中子捕获截面以及禁带宽度大、击穿电压高、热导率高、电子饱和漂移速度......
学位
6H-SiC材料
惰性气体
离子辐照
晶体缺陷
退火行为
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