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Al/Ti摩尔比对(CrTiAl)N硬质膜相结构和硬度的影响
采用多弧离子镀技术,设计沉积工艺和调整阴极弧源靶组合以及对应的弧源电流,制备出以CrN为基形貌和厚度相同、A1/Ti摩尔比不同的系......
期刊
金属材料
(CrTiAl)N硬质膜
多弧离子镀
Al/Ti摩尔比
硬度
相结构
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