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Al-Mo薄膜相关论文

利用钛过渡层及掺钼改善声表面波器件用铝薄膜的微结构与性能

纯铝薄膜以其低声阻抗特性被广泛应用于声表面波(SAW)器件的制作.随着通讯频率的不断提高, 对SAW器件用Al薄膜的功率承受力以及与......

期刊

Al-Mo薄膜 Ti过渡层附着力声表面波 Al thin films Ti underlayer Adhesion SAW

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