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异质结构的微区C-V特性表征方法的研究
AlGaN/GaN异质结为当前微波频段高压、高功率器件的理想结构,其强极化效应对其界面处二维电子气的浓度有重要影响,成为当前研究的热......
学位
异质结构
微区极化
C-V表征
扫描探针显微镜
定量测量
电子气浓度
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