CMOS标准工艺相关论文
采用CMOS标准工艺,同时采用三种典型MEMS后处理关键工艺,重点通过对牺牲层释放工艺进行研究,制作实现了一种新型CMOS兼容的电容式......
复杂的核事故环境给核辐射探测器提出了新的要求。为了满足核事故复杂环境γ射线剂量率探测的特殊需要,急需设计并制造具有探测上限......
随着MEMS技术不断的深入到传感器领域,其灵活的结构和微小的体积为多种行业提供了特殊的应用。但是与此同时,微传感器存在着两个重......
描述了用于制备SiLED发光器件的Si材料的一些特性和Si发光器件的发光原理,分析了影响Si发光器件发光性能的主要因素。介绍了采用新......
针对无源超高频射频识别标签芯片的应用需求设计了一种非易失性存储单元及其灵敏放大电路。该存储单元包括了两个浮栅节点并利用隧......