采用非接触电阻率面分布（COREMA）方法对本实验室生长得到的2英寸（50mm）4H和6H晶型半绝缘SiC单晶片进行电阻率测试，结果发现数据的离散性......

在采用COREMA方法测试SiC晶片电阻率时发现同一晶片电阻率相差较大．主要体现在高阻（〉10^5Ω·cm量级）和低阻（〈10^5量级）并存，有的......

本文介绍了半绝缘半导体SiC材料的一些性质,对SiC材料的制备方法进行了一些简单的介绍。重点研究了其电学参数的测试方法:霍尔测试......