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CoSi_2Si相关论文

用弹道电子显微术研究 Co-Ti-Si系统的退火温度对 CoSi_2/Si势垒不均匀性的影响(英文)

通过在硅 (10 0 )衬底上淀积的 Co(3nm ) /Ti(1nm )双金属层在不同退火温度下的固相反应 ,在硅衬底上制备了超薄外延 Co Si2 薄膜 ......

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电子显微术不均匀性退火温度 CoSi_2/Si Co-Ti-Si 肖特基势垒硅化物固相反应高斯分布硅衬底

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