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Cu的光催化沉积相关论文
光诱导约束刻蚀体系中的TiO2纳米管阵列光电极上Cu的沉积及抑制
光诱导约束刻蚀可作为一种无应力的化学平坦化方法用于Cu的抛光。我们发现在光诱导约束刻蚀工件Cu的过程中,工具表面的TiO2纳米管......
期刊
光诱导约束刻蚀
TiO2纳米管阵列
羟基自由基
约束剂
Cu的光催化沉积
传质
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