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DLVO作用力相关论文
碳化硅晶片超精密抛光工艺及机理研究
碳化硅(SiC)作为最具代表性的第三代宽禁带半导体材料,具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和迁移速度、低相对介电......
学位
碳化硅
化学机械抛光
抛光液
DLVO作用力
抛光机理
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