ECR等离子体源相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

ECR等离子体源相关论文

电子回旋共振氩等离子体中亚稳态粒子数密度及电子温度的测量

测量了电子回旋共振(ECR)氩等离子体中Ar的1s5亚稳态粒子数密度,在气压为0.2-0.8 Pa、功率为500-700W的范围内,利用吸收光谱法测量......

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光谱法亚稳态粒子数密度电子温度 ECR等离子体源

一种最新的等离子体腐蚀技术──TM-ECR

目前，提出了一种千兆位级DRAM超LSI批量生产所必需的最新等离子体腐蚀技术，并实践验证了其性能。该技术称谓时间调整电子回族共振［TM－E......

期刊

等离子体腐蚀技术各向异性腐蚀 ECR等离子体源电子回族共振活性成分不良影响脉冲调制电荷积累时间调整

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