FBAR器件相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

FBAR器件相关论文

基于氮化铝（AlN）薄膜的薄膜体声波谐振器（FBAR）研究

随着光刻技术及微纳米加工技术的发展，薄膜体声波谐振器（Thin film bulkacoustic wave resonator FBAR）得到了高速发展。作为一种近几......

学位

AlN Matlab FBAR器件有限元分析 Comsol

看过本文同时还关注