Fe掺杂SnO2薄膜相关硕士博士期刊学术论文

Fe掺杂SnO2薄膜相关论文

采用反应磁控溅射法制备了Fe掺杂的SnO2薄膜.沉积衬底为（100）的单晶硅,基片温度270℃,Ar为溅射气体.使用XRD,AFM和VSM研究氧分压对薄......

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