GaP薄膜相关论文
以GaP为靶材、Ar为工作气体,采用射频磁控溅射法制备了厚层GaP膜.对沉积过程中的辉光放电等离子体进行了发射光谱诊断,发现只有Ar......
该文以在ZnS头罩制备增透保护膜系为目标,开展了膜系设计、膜厚分布的模拟、GeC和GaP耐久性薄膜及其膜系的制备、头罩镀膜计算机控......
<正>非晶态半导体材料是一种新型的电子材料,由于它具有特殊的物理性质,使非晶态半导体研究成为较热门的课题之一.对氢化非晶硅(α......
利用磁控溅射法成功地制备出GaP薄膜,并对GaP薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能进行了研究.结果表明,沉积薄膜中Ga与P的原......
