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Ge1-xCx合金薄膜相关论文
Si(100)上Ge1-xCx合金薄膜的CVD外延生长
用化学气相淀积生长方法,以乙烯为碳源、锗烷为锗源,在Si(100)衬底上外延生长出了C组分达3%的Ge1-xCx合金薄膜,研究表明随着生长温......
期刊
Ge1-xCx合金薄膜
化学气相淀积
拉曼光谱
Ge_(1-x)C_x alloy films
chemical vapor deposition(CVD)
R
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