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铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究
采用电子束蒸发镀膜工艺,在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜,研制了国际热核聚变实验堆光学诊断中用具有较高反射率薄膜第......
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薄膜结构第一镜
H等离子体
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