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H2O2氧化处理相关论文

H2O2氧化处理ZnO沟道层对薄膜晶体管性能的影响

摘要：通过射频磁控溅射ZnO薄膜的方法制备了以ZnO为有源层的薄膜晶体管器件。研究了H2O2处理ZnO薄膜的不同位置对TFT器件的影响。采......

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射频磁控溅射 ZNO薄膜 H2O2氧化处理 RF magnetron sputtering ZnO film H2O2 oxidation treatment

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