HPPMS电源相关硕士博士期刊学术论文

由于高的金属离化率,高功率脉冲磁控溅射（HPPMS）技术制备的薄膜结构致密,性能优异。对于大型磁控靶,HPPMS峰值功率可以提高到兆瓦级,......