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III-V硅基混合集成相关论文
应用于光互连的金属限制介质辅助键合III-V/硅基混合集成激光器
硅基键合III-V 材料激光器,作为互补氧化物半导体(CMOS)兼容硅基光互连系统中的一个关键元件,近年来引起了人们的高度重视并得到了广......
期刊
半导体激光器
晶片键合
III-V/硅基混合集成
金属限制
semiconductor laser
wafer bonding
III-V/Si hybrid
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