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InSb焦平面阵列相关论文
电感耦合等离子体刻蚀InSb芯片工艺的研究
随着InSb红外焦平面阵列探测器的发展,焦平面阵列规模不断增大,像元面积越来越小。湿法刻蚀因为其各向同性刻蚀的特点,导致像元的钻蚀......
期刊
InSb焦平面阵列
各向同性
表面形貌
电感耦合等离子体(ICP)
InSb FPA
isotropic
surface topography
induc
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