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溶胶-凝胶法制备氧化铝绝缘薄膜及其电性能研究
以乙二醇乙醚为溶剂,异丙醇铝为前驱物,乙酰丙酮为螯合剂,采用溶胶-凝胶法和旋转涂覆工艺,在不同衬底上制备了氧化铝薄膜.通过X射......
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氧化铝薄膜
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