J-R效应相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

J-R效应相关论文

凸点结构及电学性能对J-R型静电卡盘吸附力影响的研究

真空静电卡盘是半导体工艺中最重要的元件之一，主要应用于集成电路设备和光学设备，起到承载晶圆或衬底的作用。本文利用物理气相沉积......

期刊

静电卡盘 J-R效应接触电阻气体背吹法等效电容法

晶圆材料对J-R型静电卡盘吸附力影响的研究

静电卡盘是半导体以及光学设备中关键器件之一，主要起到固定衬底快速加热的作用。本研究中搭建了真空腔室平台，并依据气体背吹法，测试......

期刊

静电卡盘 J-R效应氧化层背吹气法等效电容方法

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