MEMS动态测试相关论文
MEMS面内微运动测量是MEMS动态特性测试的一项重要内容。基于模糊图像的MEMS面内微运动测量方法对设备要求不高，计算量小，易于实现在......
本文阐述了飞秒激光微精细加工技术的原理特点，在微机械和微光学中的应用，及其在加工研究中取得的一些进展；提出一种基于计算机视觉、......
