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MEMS后处理工艺相关论文

与CMOS兼容的MEMS气压传感器工艺实现与性能分析

采用CMOS标准工艺,同时采用三种典型MEMS后处理关键工艺,重点通过对牺牲层释放工艺进行研究,制作实现了一种新型CMOS兼容的电容式......

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传感器 MEMS 气压 MEMS牺牲层 CMOS标准工艺 MEMS后处理工艺性能分析传感器结构兼容问题电容

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