MEMS压控电容相关论文
在分析了传统平行极板MEMS压控电容的基础上,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容.与传统的平行极板电容不同的是,它由三对极......
对传统平行极板MEMS压控电容的局限性进行了理论分析,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容,它的特点在于使用了三对极板,其中的一......
给出了一种MEMS压控电容的设计和相位噪声分析结果。在电容器结构中引入衬底金属层以达到控制寄生电容的目的;使用HFSS进行了上极......