MOCVD系统相关论文
利用低压MOCVD系统在三片具有不同弯曲度(bow)值的蓝宝石衬底上生长了GaN基LED结构并制作芯片，测量了具有不同村底bow值的芯片......
GaN作为典型的Ⅲ族氮化物半导体材料，具有宽直接带隙、高电子迁移率、高热导率、耐高压、耐高温、抗腐蚀、抗辐射等特点，在微电子和......
ZnO是具有纤锌矿晶体结构的直接宽带隙多功能半导体材料,它具有多种优良的物理性能,在声表面波、透明电极、光电器件、蓝紫光器件......
MOCVD是金属有机化学气相沉积技术的简称,即通过MOCVD设备,在衬底上生长材料晶体的一种方法.用这种方法生长出来的晶体可用于各种......
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发光二极管(LED)是新一代的照明光源，具有节能、环保、寿命长等特点，已经广泛应用于景观照明、交通信号灯、路灯、移动设备背光照明......
将变论域思想加入到常规模糊控制中,实现了对MOCVD系统温升过程的有效控制.该控制器包含两个模糊控制过程,一个实现对输入输出论域......
MOCVD材料生长等重大装备项目当今世界上生产半导体光电器件和微波器件材料的主要手段,是当今信息产业发展、国防高新技术突破不可......
德国爱思强股份有限公司日前宣布，旭化成株式会社（Asahi Kasei Corporation）向其订购爱思强6X2英寸规格的近耦合喷淋头（CCS）MOCVD系统，用......
全球半导体行业沉积设备供应商AIXTRON凭借其全自动新产品——金属氧化物化学汽相沉积（MOCVD）系统AIX G5＋C,获商业杂志Compound Semic......
用自制常压MOCVD系统,在半绝缘GaAs衬底上生长高Al组份Al_xGa_(1-x)As(其x值达0.83),和Al_xGa_(1-x)As/GaAs/Al_xGa_(1-x)As/GaAs......
提出了一种用于ＭＯＣＶＤ系统在位实时监测的快速、自动、旋转检偏式激光椭偏仪（ＲＡＥ）。这种椭偏仪可由常规手动消光椭偏仪改装而成。阐述了它的工......
论文课题来源于国防科工委。本文具体研究了MOVCD系统温度控制系统部分。在理论上，参考国内外时滞系统研究成果、结合实际系统具体......
介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法,探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术,使工艺人员能够快速有效的确定设备各部分漏率......
自从创立了仿生学后,人们从各种生物学机理中学到了很多新型的研究方法来解决工程问题,免疫反馈机理就是其中之一,并将之应用到了......
