全球半导体行业沉积设备供应商AIXTRON凭借其全自动新产品——金属氧化物化学汽相沉积（MOCVD）系统AIX G5＋C,获商业杂志Compound Semic......

论文课题来源于国防科工委。本文具体研究了MOVCD系统温度控制系统部分。在理论上，参考国内外时滞系统研究成果、结合实际系统具体......

介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法,探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术,使工艺人员能够快速有效的确定设备各部分漏率......

自从创立了仿生学后,人们从各种生物学机理中学到了很多新型的研究方法来解决工程问题,免疫反馈机理就是其中之一,并将之应用到了......