MEMS加速度传感系统因其体积小、精度高,被广泛用于各个领域。尤其在惯性导航与制导系统中,MEMS加速度计扮演着重要的角色。MOEMS......

微加速度计作为惯性导航系统的重要传感器,其中10-6-10-9g量级的微型高精度大动态范围加速度计更是先进军事与国防创新研究的热点......

微机械(Micro-electro-mechanical Systems,MEMS)加速度计有体积小、能耗低、便于集成等优点,被广泛用于医疗、惯导、地震监测、汽......