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Me-DLC膜相关论文
气源流量对所制备Me-DLC膜性能的影响
介绍了一种新型的DLC膜制备方法——ECR(电子回旋共振)微波等离子体气相沉积结合磁控溅射的方法。采用该法通过溅射石墨靶和金属钛......
期刊
Me-DLC膜
ECR溅射镀膜
磁控溅射
气源流量
Me-DLC film
ECR sputtering plating film
magnetron sp
Me—DLC膜的开发
0 前言关于Me-DLC/DLC膜,在其实用时,充分把握膜的特性,结合配对材料和周围环境及使用条件进行设计,使得对适当的材料、适当的场合......
期刊
Me-DLC膜
表面改性
镀膜
阴极溅镀
成膜工艺
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