Mirau干涉物镜相关论文
该文研究用于微表面三维形貌测量的Mirau白光相移干涉系统.闭环控制的压电陶瓷传感器(PZT)带动干涉物镜在光轴方向步进式移动,以得......
基于Mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的Mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒......
提出了实用的Mirau干涉头结构,降低了制作工艺要求。物镜为长工作距物镜,由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成。设计了5......
