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脉冲磁过滤等离子体沉积技术制备(Ti,Al)N梯度过渡薄膜的结构与性能研究
(Ti,Al)N薄膜以其在硬度、耐磨性、高温抗氧化性能及与基体之间结合力等方面的出色表现得到广泛的应用。但由于(Ti,Al)N薄膜与基体存......
学位
磁过滤
等离子体沉积技术
N薄膜结构
功能梯度材料
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