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NdAlO3电特性相关论文
高κ栅介质NdAlO3经时击穿特性研究
随着半导体工业的发展,晶体管的尺寸不断减小,二氧化硅层的厚度将减至2nm以下,仅有几个原子层的厚度。传统的二氧化硅面临诸多严峻挑......
学位
高κ材料
原子层淀积
NdAlO3电特性
经时击穿
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