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Ni靶电流相关论文
镍靶电流对磁控溅射CrNiTiN涂层结构及性能的影响
多元硬质涂层可以提高模具的耐磨损、耐腐蚀和抗氧化等性能,本文利用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在H13热作模具钢和单晶Si表面......
学位
非平衡磁控溅射
CrNiTiN涂层
Ni靶电流
双处理
结构
力学性能
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