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Ni基电极淀积前后表面处理对p-GaN欧姆接触的影响
在p-GaN上蒸发Ni/Au电极前,采用王水、HCl、缓冲HF进行前表面处理,O2气氛下退火后,比较各电极样品的I-V特性和表面形貌。结果显示......
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接触电阻率
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NiO去除
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