摘 要：本文用浸渍提拉法在氧化铝管状支撑体上涂膜，考察了涂膜过程中主要因素对其综合性能的影响。采用FT-IR和AFM、BET等测试技术对......

叠层TiO_2薄膜可提高薄膜的比表面积,从而提高薄膜的光催化效率.利用直流磁控溅射（DMS）和能量过滤磁控溅射（EFMS）技术分别制备了单层和......

利用原子层沉积技术（Atomic layer deposition,ALD）进行ZrO2薄膜工艺研究,获得了低温下ZrO2薄膜ALD的最佳工艺条件。分析了在低温下......