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MEMS硅基微型核电池的研究
传统的能源已经不能满足MEMS技术微型化、集成化的趋势对微能源提出的新需求。微型核电池由于具有能量密度高、寿命长、易于微型化......
学位
微型核电池
刻蚀技术
能量转换
PNs阵列
多孔硅制备
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