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PPXC膜相关论文
聚氯代对二甲苯膜表面的润湿性及其水汽阻隔性能的研究
聚氯代对二甲苯膜(Parylene C膜,简称PPXC膜)因其优良的机械性能、介电性能、耐溶剂性和防潮性等,广泛应用于半导体器件、微电子器件、......
学位
PPXC膜
纳米SiO2颗粒
二甲基硅氧烷
表面润湿性
水蒸气阻隔性能
退火温度对聚氯代对二甲苯膜性能的影响
采用化学气相沉积聚合法制备了厚度为0.082mm的聚氯代对二甲苯膜,并将其置于80~220℃Ar气气氛中恒温2h退火。采用X-射线结构衍射仪......
期刊
PPXC膜
退火温度
结晶度
拉伸强度
透气率
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