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微执行器作为微机械系统的核心部分，它可用于提供微机械系统所需动力，也可成为微机械系统的操作和执行单元。其中，静电微执行器是微执......
磁微执行器具有许多静电微执行器无法比拟的优点:磁微执行器可以提供比静电力更大的力或力矩;磁微执行器的工作电压可以与IC兼容;......
本文基于穿孔板静电微执行器的基本模型,在忽略和考虑压膜阻尼效应的两种情况下,采用能量法推导了静电微执行器的动态Pull-in参数......
微执行器是微电子机械系统的核心，由信号处理电路及控制电路共同完成相应操作。Pull-in现象是微执行器的重要特征之一，对该现象的研......
