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Si/SiGe异质结双极晶体管的研制(英文)
通过理论分析计算、计算机模拟和工艺实验,对Si/SiGe异质结双极晶体管(HBT)的结构参数进行了精细的优化设计,特别是采用了本征间隔......
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小尺寸,高性能Si—Si1—xGex异质结双极晶体管
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