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SIMS。相关论文
砷化镓中掺硅元素的SIMS定量分析
通过对体均匀掺硅和离子注入硅样品的二次离子质谱(SIMS)深度剖面分析,采用均匀体标样法、剖面二次离子强度积分法和LSS理论关系计算获得了比......
期刊
砷化镓
掺杂
硅
二次离子质谱
GaAs
impurity
Si
SIMS。
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