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SOI芯片加工技术

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耐高温微型压力传感器设计

在A03号耐高温压力传感器结构设计上采用梁膜结合压力传递结构,使被测高温流体不能直接作用在SOI芯片固态压阻力敏感元件上,从而避......

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压力传感器 SOI芯片梁膜结构耐高温

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