SOI薄膜电池相关硕士博士期刊学术论文

为了研究绝缘衬底上薄膜太阳电池的制备工艺,我们采用自己制作的SIMOX-SOI材料为衬底,用RTCVD外延晶硅薄膜,在国内首次成功制备了S......